所謂“單室，多片玻璃襯底制造技術”就是指在一個真空室內，完成P、I、N三層非晶硅的沉積方法。作為工業生產的設備，重點考慮生產效率問題，因此，工業生產用的“單室，多片玻璃襯底制造技術”的非晶硅沉積
責任編輯：趙卓然